يعد القياس بعد اكتمال أداة الفحص خطوة مرهقة.نظرًا لأن هيكل أداة الفحص أكثر تعقيدًا وأن السطح ثلاثي الأبعاد يحتوي على نقاط قياس أكثر، فإنه يتم قياسه عمومًا بواسطة الإحداثيات الثلاثية لسطح المكتب.على الرغم من أن دقة الإحداثيات الثلاثية لسطح المكتب عالية، إلا أنها غير مريحة في التشغيل، خاصة أن الفحص الجزئي يحتوي على منتج محدد كبير والعديد من الزوايا الميتة.وقد ظهرت عيوب قياس الإحداثيات على سطح الطاولة.ولذلك فإن طريقة قياس أخرى معروفة للجميع.هذه هي أداة قياس إحداثيات الذراع المفصلية، وهي أداة قياس تشبه الروبوت.

ترتبط مجموعة من الأذرع ذات الطول الثابت بمفاصل تدور حول محاور متعامدة بشكل متبادل، ويتم تركيب جهاز قياس إحداثي لنظام الكشف على العمود النهائي.بشكل عام، يتم تمثيل عدد دورات الكتفين والمرفقين والمعصمين بثلاثة أرقام منفصلة "-".يمكن أن يحتوي التكوين 2-2-3 على a0-b0-d0-e0-f0 وa0-b0-c0-d0-e0 -f0-g0 آلة قياس الذراع المفصلية ذات الدوران الزاوي، من أجل التكيف مع الوضع الحالي، عدد المفاصل عموما أقل من 7، عادة للقياس اليدوي.

تستبدل آلة قياس الذراع المفصلية مرجع الطول بمرجع زاوية، وتربط عدة قضبان ومسبار واحد في سلسلة من خلال مفصل دوار، ويتحرك طرف المسبار بحرية في الفضاء، ويتكون بشكل عام من قاعدة و6 مفاصل وذراعين و يتكون رأس القياس وأجزاء أخرى.نظام القياس لديه مساحة من ستة درجات من الحرية، والتي يمكنها بسهولة تحقيق قياس قطع العمل المعقدة.تستخدم آلة قياس إحداثيات الذراع المفصلية زاوية الدوران لكل مفصل وذراع العمل كمرجع قياس لتحقيق قياس الإحداثيات عن طريق تحويل نظام الإحداثيات.ولذلك، فإن المعلمة المقاسة الأساسية في نظام الحصول على البيانات هي زاوية كل مفصل، ويتم تحديد طول ذراع العمل من خلال معايرة الهيكل الميكانيكي.